Жарење
Ставите силицијумску плочицу у реакциону цев направљену од кварцног стакла, која се загрева на одређену температуру помоћу пећи за грејање отпорне жице (често коришћена температура је 900-1200 степени, која се може смањити на испод 600 степени под посебним условима ). Када кисеоник прође кроз реакциону цев, на површини силицијумске плочице долази до хемијске реакције:
Си (чврсти)+О2 (гасовити) → СиО2 (чврсти)
Прерасподела нечистоћа насталих током процеса жарења такође игра улогу у апсорпцији нечистоћа, користећи ПСГ адсорпцију и фиксацију натријумових и калијумових јона за уклањање ових штетних јона.
Анализа веза за стварање загађења: Главне везе загађења у овом процесу су резидуални кисеоник и азот у термалној вези кисеоника.
БОЕ чишћење
Опрема типа слота БОЕ (5-лине) је интегрисани полузатворени уређај, где се силицијумске плочице аутоматизованом опремом стављају у корпе и претварају у решења у сваки слот опреме преко механичких кракова. Резервоар за хемикалије се непрекидно допуњује одговарајућим хемикалијама на основу концентрације раствора и редовно се мења као целина. Замењена отпадна течност се испушта у систем отпадних вода и на крају улази у постројење за пречишћавање отпадних вода на третман. Резервоар за прање се чисти пречишћеном водом. Када се у резервоару налазе силиконске плочице, пречишћена вода се полако додаје, а отпадна вода која садржи со се аутоматски прелива у систем за прикупљање отпадних вода и коначно улази у постројење за пречишћавање отпадних вода на третман. Све хемикалије су у течном облику и аутоматски се дозирају помоћу мембранске пумпе. Редослед чишћења је: резервоар за кисељење * 2, прање водом, накнадно кисељење (ХЦл/ХФ/ДИ), прање водом, споро повлачење, сушење * 6, са величином резервоара од 720Л.
1) Прање киселином
За чишћење високе чистоће потребан је раствор разблажене киселине (3,15% ХЦл и 7,1% ХФ). Функција ХЦл је да користи Цл - за комплексне металне јоне, док је функција ХФ да уклони оксидни слој на површини силицијумске плочице, чинећи је хидрофобнијом и формирајући силицијумски комплекс Х2СиФ6. Координацијом са металним јонима, метални јони се одвајају од површине силицијумске плочице, смањујући садржај металних јона у силицијумској плочици. Прање ХФ киселином се врши 150 секунди да би се уклонио БСГ слој на предњој страни и ПСГ слој на задњој страни. Након прања киселином, врши се чишћење чистом водом.
ХФ+СиО2→СиФ4+Х2О
СиФ4+ХФ→Х2СиФ6
2) После кисељења
Након накнадног чишћења, за чишћење високе чистоће треба користити раствор разблажене киселине (14,7% ХФ). Функција ХФ је да уклони оксидни слој на површини силицијумске плочице, чинећи је хидрофобнијом и формирајући силицијумски комплекс Х2СиФ6. Кроз комплексирање са металним јонима, метални јони се одвајају од површине силицијумске плочице, смањујући садржај металних јона у силицијумској плочици.
Хемијске реакције које се дешавају током процеса кисељења су следеће: СиО2+6ХФ=Х2СиФ6+2Х2О
Радна температура резервоара за кисељење је на собној температури, а време кисељења се контролише на 100 секунди.
3) Сушење
Пренесите полако извучену претходно дехидрирану кристалну силицијумску плочицу у резервоар за сушење и дувајте врући ваздух на 90 степени горе-доле на плочицу за сушење, користећи електрично грејање.
Горе наведени процес киселог прања ће произвести киселу отпадну воду високе концентрације која садржи ХЦл и флуороводоничну киселину (В21) и киселу отпадну воду високе концентрације која садржи флуороводоничну киселину (В23), и опћенито киселу отпадну воду од чишћења (В22, 24, 25). Горенаведена операција се изводи у затвореној машини за чишћење, а процес киселог прања ће се испарити да би се произвео кисели отпадни гас који садржи ХЦл и ХФ (Г6) и кисели отпадни гас који садржи ХФ (Г7), који ће се сакупљати кроз цевоводе и послати у торањ за прање киселих отпадних гасова за третман.
АЛД
Користите АЛД опрему да нанесете слој Ал2О3 на површину силицијумских плочица како бисте побољшали њихову пасивацију и ефекте апсорпције нечистоћа. Главни метод је реаговање гасовитог Ал (ЦХ3) 3 са воденом паром (Х2О) да би се добио Ал (ОХ) 3, који се пријања на површину силицијумских плочица и производи гас метан.
Главна једначина реакције је:
Ал(ЦХ3)3+3Х2О→Ал(ОХ)3+3ЦХ4↑
2Ал(ОХ)3→Ал2О3+3Х2О↑
АЛД опрема је затворени уређај са негативним притиском, опремљен улазом, излазом и улазом/излазом. Грејање је електрично, а опрема долази са безуљном сувом механичком вакуум пумпом. Након што производња почне, роботска рука прво шаље ћелије батерије у АЛД опрему и затвара прикључак за напајање. Загрејати на одређену температуру, евакуисати и довести притисак унутар опреме на ниво потребан за производњу. Наизменичним увођењем ТМА и Х2О импулса прекурсора гасне фазе у реакциону комору, и хемијском адсорбовањем и реакцијом на подлози за таложење, ствара се таложени филм АЛ2О3. Коначно, издувни гас метана унутар опреме се замењује гасом азота, а опрема се укључује да аутоматски уклони силиконску плочицу.
Главни загађивач у овом процесу је издувни гас метан (Г8), који се екстрахује вакуум пумпом и третира цилиндром за сагоревање силана од нерђајућег челика и уређајем за распршивање воде.
Предњи премаз
Основни принцип је коришћење високофреквентног светлосног пражњења за генерисање плазме која утиче на процес таложења танког филма, промовише разлагање, комбиновање, ексцитацију и јонизацију молекула гаса и промовише стварање реактивних група. Због присуства НХ3, олакшава проток и дифузију активних група, повећава брзину раста танких филмова и у великој мери смањује температуру таложења.
Главне хемијске реакције које се дешавају током ПЕЦВД таложења филмова силицијум нитрида оксида су:
СиХ4+НХ3+Н2О→кСи2О2Н4+Н2↑+иХ2↑
Опрема ПЕЦВД позитивног филма је затворени уређај са негативним притиском, електрично загрејан и долази са сувом механичком вакуум пумпом без уља. Током производње, азот се прво пуни у опрему, а роботска рука довршава пуњење силицијумске плочице. Након што опрема достигне спољни притисак, улаз и излаз се отварају, а графитни чамац аутоматски улази у опрему и затвара улаз и излаз. Усисајте и спроведите разне безбедносне провере. Након потврде безбедности, унесите силан и гас амонијака да бисте довршили силиконски премаз од азот-оксида унутар опреме. Након завршетка облагања, преостали гас у специјалном гасоводу и опреми се испушта кроз гас азота, а затим се улаз и излаз отварају за испуштање. Након хлађења, уђите у процес сортирања и пређите на следећи процес.
Анализа процеса производње загађења: Главни облик загађења у овом производном процесу је облагање отпадног гаса (силан, вишак смеше, вишак амонијака, водоника, азота, итд.) (Г9), који се прво третира сагоревањем силана од нерђајућег челика. цилиндар кроз систем индуковане промаје, а затим се испразни након што га третира кула за прскање.
Задњи премаз
Главне хемијске реакције које се дешавају током ПЕЦВД таложења филмова силицијум нитрида оксида су:
СиХ4+НХ3+Н2О→кСи2О2Н4+Н2↑+иХ2↑
Опрема за задњи филм ПЕЦВД је затворени уређај са негативним притиском, електрично загрејан и долази са сувом механичком вакуум пумпом без уља. Током производње, азот се прво пуни у опрему, а роботска рука довршава пуњење силицијумске плочице. Након што опрема достигне спољни притисак, улаз и излаз се отварају, а графитни чамац аутоматски улази у опрему и затвара улаз и излаз. Усисајте и спроведите разне безбедносне провере. Након потврде безбедности, унесите силан и гас амонијака да бисте довршили силиконски премаз од азот-оксида унутар опреме. Након завршетка облагања, преостали гас у специјалном гасоводу и опреми се испушта кроз гас азота, а затим се улаз и излаз отварају за испуштање. Након хлађења, уђите у процес сортирања и пређите на следећи процес.
Анализа процеса производње загађења: Главни облик загађења у овом производном процесу је облагање отпадног гаса (силан, вишак смеше, вишак амонијака, водоника, азота, итд.) (Г9), који се прво третира сагоревањем силана од нерђајућег челика. цилиндар кроз систем индуковане промаје, а затим се испразни након што га третира кула за прскање.
Метализација
1) Штампање
Током процеса штампања, каша се налази изнад сита, а стругач се притисне на сито уз одређени притисак, што доводи до деформације екрана и контакта са површином силиконске плочице. Суспензија се екструдира и долази у контакт са површином силицијумске плочице; Површина силицијумске плочице има јаку адсорпциону силу, која тера кашу из мрежастих рупа. У овом тренутку стругач ради, а претходно деформисана мрежаста плоча, под добром силом враћања, омогућава да каша глатко пада на површину силицијумске плочице. Сребрна паста је паста за штампање која се прави од ултра финог и високе чистоће сребра и алуминијумског праха као главног метала, допуњена одређеном количином органског везива и смоле као помоћних агенаса.
Прво, штампање и сушење задње електроде: Прецизно лоцирајте и одштампајте пасту задње електроде (укључујући положаје за ласерско бушење) (сребрну пасту) на полеђини батерије и брзо је осушите на ниској температури како бисте осигурали да одштампана задња електрода није оштећена током следећег корака штампања.
Друго, штампање и сушење финих линија мреже на полеђини: Прецизно позиционирајте и одштампајте пасту финих мрежа (сребрна паста) на задњој страни батерије и брзо је осушите на ниској температури. Главна сврха је да се успостави контакт са силицијумском подлогом, пренесе струја и поново допингује да би се смањила рекомбинација носиоца и повећала појачана.
Затим, након проласка кроз пераје, ћелије батерије се окрећу са задње стране на предњу страну према горе. Извршите штампање и сушење позитивне електроде: Прецизно поставите и одштампајте пасту за позитивне електроде (сребрну пасту) на предњој страни батерије и брзо је осушите на ниској температури. Његова главна функција је да спроводи и преноси струју прикупљену финим мрежама до спољних кола или меморије.
На крају, штампање и сушење предњих линија фине мреже: Прецизно поставите и одштампајте пасту (сребрну пасту) предње електроде на предњој страни батерије. Након штампања, сачекајте да уђе у пећ за синтеровање за чврсто синтеровање, формирајући добар омски контакт. Његова главна функција је да сакупи струју, повећа капацитет апсорпције светлости ћелије батерије и побољша ефикасност конверзије.
Температура сушења суспензије током претходног процеса сушења је око 200 степени. Овај процес ће створити органске испарљиве гасове (Г10), при чему су главни загађивачи естри алкохола као што је додекан, израчунати као ВОЦ. Органски отпадни гас који настаје током процеса штампања сакупља се помоћу хаубе за сакупљање гаса и третира се двостепеном серијски повезаном адсорпционом кутијом са активним угљем и на крају се испушта кроз издувну цев. Издувни канал треба редовно чистити и чистити да би се одржала његова ефикасност апсорпције.
2) Синтеровање
Синтеровање је процес синтеровања главне пасте за фину капију штампану на силиконској плочици у ћелију батерије на високим температурама, омогућавајући да се електрода угради на површину, формирајући јак механички контакт и добру електричну везу, што на крају доводи до омског контакта. између електроде и саме силицијумске плочице.
Штампане силиконске плочице се синтерују помоћу електричне пећи за грејање, која је подељена на различите температурне зоне. Током процеса синтеровања, силицијумске плочице формирају горње и доње електроде, а највиша температура синтеровања је између 700 ~ 800 степени. Током овог процеса, органски растварачи као што је алкохолни естар додекан у суспензији потпуно испаравају да би се формирао органски отпадни гас (Г11), који се рачуна као ВОЦ. Затим се потпуно сагорева и третира помоћу уграђеног високотемпературног уређаја за сагоревање у опрему, а заједно са отпадним гасом штампања се адсорбује и третира помоћу двостепене серијски повезане кутије за адсорпцију активног угља. Након адсорпције, испушта се кроз издувну цев.
3) Електрично убризгавање
Након синтеровања ћелија батерије, метода директног убризгавања носача пуњења (обрнуто убризгавање једносмерне струје) се користи за промену наелектрисаног стања водоника у силицијумском телу, што може ефикасно пасивизирати распадајући комплекс кисеоника бора и трансформисати га у стабилно регенерисано стање, на крају постижући циљ против распада светлости.
Тест паковање
Након завршетка производње соларних ћелија, инструменти за тестирање ће се користити за тестирање параметара електричних перформанси соларне ћелије (као што је мерење њене ИВ криве и стопе конверзије светлости). Након што је тест завршен, батерија ће се аутоматски поделити на више нивоа према одређеним стандардима. Када број ћелија батерије на одређеном нивоу достигне наведену границу, уређај ће подсетити оператера да их извади за паковање. Уређај такође има функцију детекције фрагмената, која моментално уклања фрагменте након откривања, уместо да их тестира као комплетне батерије, што доводи до истрошених ћелија батерије (С2).